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氮化硅陶瓷燒結裝備的規格：
額定溫度：1600℃-2200℃
工藝氣體：Ar/H2/CH4
真空度：≤1Pa
抽空時間：20min（空爐）
充高壓時間：最快15min
均溫性：±7℃
PLC控制器：Siemens S7
真空機組：機械泵+羅茨泵
爐門和內膽開閉：液壓驅動
燒結壓力控制：壓力可控
脫蠟壓力控制：壓力可控
冷卻方式：爐內熱交換器
安裝面積：約7×9米
設備用途：硬質合金、粉末冶金、氮化硅陶瓷加壓燒結
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