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氮化鋁陶瓷燒結爐 | ||||
參數\型號 | ZK-150 | ZK-350 | ZK-500 | ZK-600 |
工作區尺寸φ×L（mm） | φ150×200 | φ350×400 | φ460×500 | φ600×700 |
裝載重量（kg） | 200 | 300 | 500 | 600 |
最高溫度（℃） | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 |
溫度均勻性（℃） | ±2 | ±5 | ±5 | ±5 |
加熱功率（kW） | 50 | 120 | 200 | 230 |
工作環境 | H2，N2 | H2，N2 | H2，N2 | H2，N2 |
極限真空度（Pa） | 1000Pa | 1000Pa | 1000Pa | 1000Pa |
壓升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
主要配置：
u 設備結構：立式或臥式
u 爐門：上出料/下出料機械升降/液壓升降
u 爐殼：全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼
u 爐膽：鎢、鉬金屬板材加工；進口高純石墨材料
u 加熱器：三相加熱體，鎢板或鎢絲加工焊接；進口高純石墨加熱器
u 工藝氣路系統：手動閥/自動閥；進口/國產
u 真空泵和真空計：進口/國產
u 人機界面：工控機
u PLC：霍尼韋爾DCS控制器、西門子PLC、歐姆龍PLC
u 控溫：霍尼韋爾DCS控制器、日本導電儀表、霍尼韋爾儀表、歐陸儀表
u 測溫方式：WRW526、紅外
u 電器元件：天正/正泰/施耐德/西門子
主要用途：氮化鋁陶瓷基板燒結
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